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《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》 2023年10期

低温条件下沉积的氮化硅薄膜对非晶硅薄膜钝化性能的影响分析

作者:

许烁烁1张威1彭宜昌1徐伟1陈臻阳1

机构:
[1]

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